晶圆AOI自动检测
产品特色产品特色:
晶圆正背面可同时检测;
AI视觉算法支持自动学习;
检测速度:6000(die)/h;
自动视别起始点位;
支持双系统配置,后台人工做抽检;
高精度XYθ调整平台;
易操作人机界面;
载具支持6、8、12寸规格;
超高清1000万相素CCD;
可检测的项目类别:
图开异常
切割崩边
FRM 台阶损伤
外来脏污
水平连接
划痕不良
发光条损伤
垂直连接
裂痕不良
底部不良
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