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晶圆AOI自动检测
晶圆AOI自动检测
产品特色

产品特色:

晶圆正背面可同时检测;

AI视觉算法支持自动学习;

检测速度:6000(die)/h;

自动视别起始点位;

支持双系统配置,后台人工做抽检;

高精度XYθ调整平台;

易操作人机界面;

载具支持6、8、12寸规格;

超高清1000万相素CCD;


图片4

图片1

可检测的项目类别:

图开异常

切割崩边

FRM 台阶损伤

外来脏污

水平连接

划痕不良

发光条损伤

垂直连接

裂痕不良

底部不良


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